在晶體管、集成電路生產中，超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，硅片氧化的水汽源，部分設備的冷卻水，配制電鍍液等;在電子管生產中，電子管陰極涂甫碳酸鹽，如其中混入雜質，就會影響電子的發射，進而影響電子管的放大性能及壽命，因此其配液要使用超純水設備制取的水;在生產中，超純水主要用作純水清洗和純水配液，不同的工藝生產中純水的用途及對水質的要求也不同。這都是超純水具有的特性。

     超純水出水能達到多少兆歐?工廠飲用水設備告訴大家：

     超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。

     超純水傳統的制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取，但采用離子交換樹脂通常需要經常性的進行樹脂再生，即耗費物力又浪費人工，經過多年實踐，同時結合最新的膜分離技術，常采用反滲透加離子交換系統(或EDI)相結合用來制備超純水，該工藝與傳統工藝相比具有運行成本低的優點(離子交換器的再生周期大大延長)，運行可靠。與最新工藝相比具有造價低，耗材易得的優點。反滲透工藝技術先進，可靠。

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